Вакуумная закалка относится к плавной закалке деталей. Закалка и охлаждение деталей осуществляются в вакуумной печи, а закалочной средой в основном является газ (например, инертный газ), вода и масло для вакуумной закалки. Вакуумная закалка широко применяется при закалке различных на углероживающихся сталей, легированных инструментальных сталей, быстрорежущих сталей и нержавеющих сталей, а также при обработке растворами различных стареющих сплавов и магнитотвердых сплавов.

Существует два вида закалки в вакууме: газовая закалка и жидкостная закалка. Газовая закалка заключается в том, что заготовку нагревают в вакууме, а затем охлаждают нейтральным газом высокой чистоты (например, азотом) в камере охлаждения. Быстрорежущая сталь, а также высокоуглеродистая и высокохромистая сталь подходят для газовой закалки. Жидкостная закалка заключается в нагреве заготовки в камере нагрева, перемещении ее в камеру охлаждения, заполнении азотом высокой чистоты и немедленной отправке в резервуар для закалочного масла для быстрого охлаждения. Если требуется высокое качество поверхности, отпуск и дисперсионное упрочнение после вакуумной закалки и термообработки раствором все равно следует проводить в вакуумной печи